Es gibt eine urbane Legende, dass eine Version des Intel Pentium-Chips irgendwo auf der Rennstrecke die Überschrift "Bill sux" hatte. Die Legende wird von diesem Bild begleitet:
Nehmen wir nun für einen Moment an, dass die Legende tatsächlich wahr ist.
Wie realistisch ist das Bild? Warum haben alle Elemente dieselbe Farbe? Warum unterscheiden sich Spuren nicht farblich von der Umgebung?
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Antworten:
Es ist ein Scherz, Sie können mehr bei Snopes und hier lesen .
Um ein paar Informationen hinzuzufügen, wurde die Geschichte 1998 populär, so dass der Maßstab, in dem sie arbeiten würden, höchstens 250 Nanometer betrug, sodass das Bild mit einem Elektronenfernrohr aufgenommen worden wäre.
Hier ist das Originalbild:
...
Hier ist ein weiterer Link mit weiteren Informationen.
Verbesserungen der Halbleiterfertigung bis zum Jahr:
10 um - 1971
3 um - 1975
1,5 um - 1982
1 um - 1985
800 nm (0,80 um) - 1989
600 nm (0,60 um) - 1994
350 nm (0,35 um) - 1995
250 nm (0,25 um) - 1998
180 nm (0,18 um) - 1999
130 nm (0,13 um) - 2000
90 nm - 2002
65 nm - 2006
45 nm - 2008
32 nm - 2010
22 nm - 2012
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Möglichkeiten:
Das ist eher ein Elektronenmikrogramm als eine Mikroskopaufnahme und von Natur aus nicht farbig. Die orangefarbenen Ränder sind computergesteuerte Falschfarben oder ein Produktionsartefakt.
Sie sehen eine Schutzschicht-Schutzbeschichtung (dünne Schicht Siliziumdioxid?)
Die Strukturgröße liegt unter der Wellenlänge des sichtbaren Lichts, sodass reflektierte Farben bedeutungslos sind. Sie würden stattdessen Beugungsmuster sehen (aus diesem Grund erhalten Sie sehr farbenfrohe Bilder von nicht vergrößerten Halbleiterwafern).
Weitere Informationen hierzu finden Sie unter http://micro.magnet.fsu.edu/creatures/logoindex.html
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Dies ist eine "Meta" -Antwort, die sich auf die anderen Antworten bezieht, um einige Missverständnisse zu korrigieren.
Während der VLSI-Herstellung werden auf den verschiedenen Ebenen unterschiedliche Auflösungen der Lithographie verwendet, und auf der GATE-Definitionsebene werden NUR die modernsten und feinsten Details verwendet. Sogar Schritte vor der Poly Silicon-Definition werden mit älteren Lithografiewerkzeugen (wie der Definition des aktiven Bereichs STI - LOCOS usw.) ausgeführt.
Der Grund ist sehr einfach: Warum sollten Sie die fortschrittlichsten (und damit teuersten) Tools verwenden, die die teuersten Masken verwenden, um Ebenen zu definieren, die von Natur aus weniger Auflösung benötigen?
In der Tat neigt das obere Metall dazu, sehr dick zu sein, um mehr Strom zu unterstützen, um eine Elektromigration zu verhindern und den Widerstand der Stromschienen zu verringern.
Beispielsweise wird in einem 180-nm-Prozess das Gate unter Verwendung einer KrF-laserbasierten Lithographie bei 248 nm mit einer 5-fachen Phasenwechselmaske definiert. Dies wird auch für Kontakte verwendet. Metall 1 kann in einem Stepper ausgeführt werden, der i-line @ 365nm und auch eine 5X-Maske verwendet, jedoch ohne Phasenkorrektur.
Der Punkt ist, dass die oberen Schichten des Chips eine viel viel niedrigere Auflösung und eine viel höhere Tonhöhe haben als das, als was der Prozess "definiert" wird - und selbst diese Definition wird oft funky.
Das oberste Metall hat möglicherweise eine minimale Strukturgröße von bis zu 3 um in dem oben beschriebenen 180-nm-Prozess, wie ich überprüft habe.
Die Passivierung der oberen Matrize ist typischerweise entweder Si 3 N 4 oder Polyimid. Welches wurde in diesen Bildern entfernt.
Das wahrscheinlichste ist also, dass diese Bilder tatsächlich Bilder mit sichtbarem Licht sind, die mit einem Mikroskop aufgenommen wurden. Die Farben können sein, weil die Strukturhöhe in der Größenordnung der Wellenlänge des Lichts liegt und diffraktive Effekte hat. Aber da wir keine Skalierung haben, ist es nicht sicher, eindeutig zu sein.
Es könnte sich aber auch um einen ElectronMicrograph handeln, der für "Hübschheit" eingefärbt wurde. Es scheint von einem Cover eines Buches zu stammen, und wer weiß, was die Kunstabteilung dort macht.
Ich bin also nicht bereit, einem der anderen zu sagen, dass es entweder optisch oder SEM ist. @ W5VO stellt fest, dass die Schärfentiefe für optische zu groß erscheint, und ich stimme zu. Aber wir kennen den Maßstab hier nicht, diese Struktur könnte angesichts der Ära leicht 10 Mikrometer betragen.
Ich habe noch nie von einem Elektronenmikrogramm gehört - unter Standard-Namenskonventionen, die sich in einer "kleinen Elektronennachricht" niederschlagen würden, kann ich auch keine Links zu irgendetwas finden, das dies erwähnt. Also würde ich gerne hören, was das sein könnte.
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